中国电科旗（qí）下电科装备研制（zhì）成功的离子注入机。中国电科 供图（tú）

　　中新网北京3月17日（rì）电 (记者 孙自法)记（jì）者17日从中国电子科技集团有限公司(中国电科)获悉，该集团（tuán）旗下电科装备已（yǐ）成功实（shí）现（xiàn）离子注入机全谱系产品（pǐn）国产化，可为全球芯（xīn）片（piàn）制造企业提供离子注入机（jī）一站式（shì）解决方案。

　　中（zhōng）国电科介绍说，离（lí）子注（zhù）入机是芯（xīn）片制（zhì）造中的关键装备。电（diàn）科装（zhuāng）备（bèi）连续突破（pò）大流强长寿命高品（pǐn）质离子源、高速晶圆传输等“卡脖（bó）子（zǐ）”关键技术，自（zì）主研制出中束流、大（dà）束（shù）流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机（jī），工艺段（duàn）覆盖至28纳米，已累计形成核心（xīn）发明（míng）专利413项，实现中国芯片（piàn）制造领域全谱（pǔ）系离子注入机自主创新（xīn）发展，将（jiāng）有效缓解中国（guó）芯片制造领域断链、短链难题。

　　中（zhōng）国电科表示，下一步（bù），电科装备将瞄准高端，紧跟先进工艺发展，加快推进适用于更先进工艺节点离子注入机的研发及产业化。

　　据了解，中国电科是（shì）中（zhōng）国军工电（diàn）子（zǐ）主力军（jun1）、网信事业“国家队”、国家战略科技力量，拥有电子信息领域相对完（wán）备（bèi）的科技创新体系。目前，中国电科旗下包括（kuò）47家国家级研究（jiū）院所、11家上市公司在内的企（qǐ）事业单位500余（yú）家，员工（gōng）20余万名，并拥有35个（gè）国家级重点实验室、研究中心和（hé）创新中（zhōng）心。